Az ultravákuum kivitelű vákuumrendszerrel rendelkező magnetronos porlasztó berendezés néhány atomsor vastagságú, jó minőségű éles határfelületekkel rendelkező vékonyrétegek vagy  multirétegek előállítását tetszi lehetővé. Főbb kutatási területünk a fém, félvezető vagy szigetelő anyagokból készült rétegek/multirétegek termikus stabilitásának, a végbemenő diffúziós keveredések és szilárdtest reakciók vizsgálata.

Az ultravákuum kivitelű vákuumrendszerrel rendelkező magnetronos porlasztó berendezés néhány atomsor vastagságú, jó minőségű éles határfelületekkel rendelkező vékonyrétegek vagy multirétegek előállítását tetszi lehetővé. Főbb kutatási területünk a fém, félvezető vagy szigetelő anyagokból készült rétegek/multirétegek termikus stabilitásának, a végbemenő diffúziós keveredések és szilárdtest reakciók vizsgálata.