English
 |
Kategória | Mérőrendszer |
| Típus | Spect | |
| Szervezeti egység | ||
| Eszközfelelős | ||
| Üzembentartó | Atomki - Debreceni Egyetem | |
| Felhasználás | Kutatás, Szolgáltatás | |
| Érték | Nagy értékű | |
| Kutatási témák |
A másodlagos semleges-részecske/ion tömegspektrométer (SNMS/SIMS) vékonyrétegekben és felületi bevonatokban kialakuló koncentráció-eloszlások nanométeres feloldással történő vizsgálatára nyújt lehetőséget. Alkalmas akár 1-2 nm egyedi rétegvastagságú többrétegű rendszerek, felületi bevonatok összetevői mélységi eloszlásának vizsgálatára, vagy a felülethez képest mélyebben fekvő határrétegek összetételének kutatására. Segítségével vizsgálhatóak a félvezető és polimer rendszerek adalék komponenseinek mélységi eloszlása is.
| Porlasztó gázok | Ar, Ne, Kr, Xe |
| Tipikus porlasztási sebesség | ~0,1 nm/s |
| Ionenergia | 100 eV - 2 keV |
| Tömegspektrométer | Balzers QMG 422 |
| Mérhető tömegtartomány | 0 - 340 amu |
| A detektálás alsó határa | 1 ppm |
| Mélységi feloldás | 1-2 nm |
| Mintatartó | 600 oC-ig fűthető |
| -180 oC-ig hűthető | |
| x - y irányban mozgatható |